无菌室温度调节器 Semistat S 4400

工艺流程紧凑型无显示

产品描述
用于工艺点位（POU）的热电过程恒温器，适用于半导体和洁净室工艺的精确温度控制。与压缩机系统相比，可将能耗降低高达90%。体积小，可选地板下安装以减少洁净室占用。可将过程温度精确控制至 ±0.1 °C，改善晶圆间均匀性。

特点

• 热电过程恒温器，能耗低
• 采用无制冷剂冷却技术，运行安静且低振动
• 无需滤芯或去离子（DI）部件
• 可接入洁净干燥空气（CDA）吹扫以防止结露
• 使用全氟化工质作为热介质
• 提供水冷型可选
• 整体体积小、重量轻
• 热传递液体体积极少
• 符合 SEMI S2 和 F47 标准

工作范围

• 最小工作温度：-20 °C
• 最大工作温度：90 °C
• 温度稳定性：0.1 ± K

技术参数（按 DIN 12876）

• 工作温度范围：-20 ... 90 °C
• 温度稳定性：0.1 ± K
• 加热功率（最小）：12 kW
• 最小充注量：2.5 L
• 最大充注量：2.8 L
• 外形尺寸（WxDxH）：194 x 300 x 560 mm
• 重量：38 kg
• 电源：连接至 PSC
• 冷却技术：热电 / 无制冷剂冷却（亦有水冷型）
• 符合性：SEMI S2 和 F47

制冷能力
20 °C | 4.4 kW (50 Hz / 60 Hz)
10 °C | 3.5 kW (50 Hz / 60 Hz)
0 °C | 2.6 kW (50 Hz / 60 Hz)
-10 °C | 1.65 kW (50 Hz / 60 Hz)
-20 °C | 0.7 kW (50 Hz / 60 Hz)

下载（可用文档）
Semistat S 4400 数据表
Semistat 使用手册（Point of Use）
手册：Semistat / Circulation and process thermostats

技术规格

• 商品名称 / 型号：Semistat S 4400
• 零件号：L003278
• 工作温度范围：-20 ... 90 °C
• 温度稳定性：0.1 ± K
• 加热功率（最小）：12 kW
• 充注量（最小/最大）：2.5 L / 2.8 L
• 外形尺寸（WxDxH）：194 x 300 x 560 mm
• 重量：38 kg
• 冷却技术：热电 / 无制冷剂冷却（亦有水冷型）
• 符合：SEMI S2 和 F47