工艺流程温度调节器 Semistat S 2400

紧凑型无显示加热

产品描述
点位（POU）温控系统，专为半导体和实验室工艺温度的精确控制而设计。与压缩机系统相比，POU方式可将能耗降低高达90%，并可在工艺附近进行紧凑安装（包括地板下安装），从而最小化洁净室占用面积。对过程温度实现快速且稳定的控制至±0.1 °C，提高晶圆间均匀性和工艺重复性。

特点

• 低能耗的热电工艺恒温器
• 无冷媒冷却技术，运行安静且低振动
• 冷却回路无需滤芯或DI组件
• 带洁净干燥空气（CDA）排气连接以防止冷凝
• 适用于全氟化传热流体
• 水冷系统以保证稳定的热性能
• 体积紧凑，重量轻
• 极低的传热液体体积
• 符合 SEMI S2 与 F47 标准

工作范围

• 最低工作温度：-20 °C
• 最高工作温度：90 °C
• 温度稳定性：±0.1 K

冷却能力（表）
温度 | 冷却能力 50 Hz | 冷却能力 60 Hz
20 °C | 2.45 kW | 2.45 kW
10 °C | 1.93 kW | 1.93 kW
0 °C | 1.4 kW | 1.4 kW
-10 °C | 0.88 kW | 0.88 kW
-20 °C | 0.35 kW | 0.35 kW

配件（示例）

• 加注用桶

技术规格

• 工作温度范围：-20 ... 90 °C
• 温度稳定性：±0.1 K
• 最小加热功率：6 kW
• 最小充注量：1.25 L
• 最大充注量：1.6 L
• 外形尺寸（WxDxH）：116 x 300 x 560 mm
• 重量：27 kg
• 净重：26.81 kg
• 电源：连接至 PSC