无菌室温度调节器 Semistat S 1200

紧凑型无显示加热

概述
点位使用的热电工艺恒温器，专为半导体和洁净室工艺的精确温度控制而设计。与压缩机系统相比可降低能耗，并可在使用点下地板安装以减小洁净室占用面积。将工艺温度曲线控制在±0.1 °C，提高晶圆间均匀性。

特点

• 低能耗热电工艺恒温器
• 采用无制冷剂冷却技术，运行安静且低振动
• 无需滤芯或去离子（DI）组件
• 带洁净干燥空气（CDA）吹扫接口以防止冷凝
• 使用全氟化热传递液体
• 提供水冷型可选
• 体积紧凑、重量轻，便于点位安装
• 热传递液体体积极小
• 符合 SEMI S2 与 F47 标准

工作范围

• 最低工作温度：−20 °C
• 最高工作温度：90 °C
• 温度稳定度：±0.1 K

冷却能力（示例）
温度 — 50 Hz 冷却能力 — 60 Hz 冷却能力
20 °C — 1.2 kW — 1.2 kW
10 °C — 0.9 kW — 0.9 kW
0 °C — 0.6 kW — 0.6 kW
−10 °C — 0.35 kW — 0.35 kW
−20 °C — 0.08 kW — 0.08 kW

技术参数（依据 DIN 12876）

• 工作温度范围：−20 ... 90 °C
• 温度稳定度：±0.1 K
• 最小加热功率：3 kW
• 最小充填量：1 L
• 最大充填量：1.3 L
• 尺寸（WxDxH）：116 x 232 x 470 mm
• 重量：15 kg
• 电源：连接至 PSC