任何材料进入洁净室都必须通过适当的机械或通道区域,以保证各区域之间的压力和粒子串联。法律规定,货物和人员不能直接进入加工区,要通过特殊的 "过滤器",以保证上述情况的发生。如果加工区的平面高于大棚的零层,刚才所描述的情况就会变得更加复杂。
已经研究、设计和建造的机器起到了手推车传递者的作用:
- 流动的;即包括一个风扇和绝对过滤器,确保它在机器内分类,保证采样空气的清洁度符合ISO 14664-1标准
- 配有压力调节器;该机器配备了一个压力探针和一个调节风门,通过与设定点有关的压力开关的反馈,保证正确调节腔体压力,保证工作腔体的压力级联。
- 电梯。该机器配有一个活塞系统,保证了平台在可设定的高度上的偏移。
- 互锁的。该机器防止两扇门同时打开,确保符合法律规定。
- 可监督。该机器配备了SIEMENS控制和触摸面板。
---