二次电子显微镜

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扫描电子场发射显微镜
扫描电子场发射显微镜
SU8700

倍率: 20 unit - 2,000,000 unit
空间分辨率: 0.9, 0.6 nm

... 随着快速数据采集和数据处理技术的发展,电子显微镜进入了一个不仅重视数据质量,而且注重其采集过程的时代。SU8700作为一款面向新时代的SEM,在日立电镜贯有的高图像质量和高稳定性的基础上,增加了包括自动获取数据等高通量的功能。 超高分辨观察和超强分析能力 日立的高亮度肖特基场发射电子枪可同时支持超高分辨观察和快速微束分析。在不使用样品台减速的情况下,仅用0.1 kV的低加速电压仍可进行高分辨观察,适应更多应用场景。同时,可搭配多种新型探测器和其他丰富的选配项,满足更多的观测需求。 先进的自动化功能* EM ...

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Hitachi High-Tech Europe GmbH
扫描电子场发射显微镜
扫描电子场发射显微镜
SU7000

倍率: 20 unit - 2,000,000 unit
空间分辨率: 0.8, 0.9 nm

... SU7000不仅可以在低加速电压下获得高画质图像,而且还可以同时接收多种信号。此外,它还具备大视野观察、In-Situ观察等FE-SEM的众多优异性能。 SU7000是一台实现了获取大量信息的新型扫描电镜,可以满足客户的多种观察需求。 接下来请欣赏SU7000带来的多彩世界。 核心理念 1.采用优异的成像技术 SU7000可以迅速获取从大视野全貌图到表面微细结构等多种检测信号。全新设计的电子光学系统和检测系统,使得装置可以同时接收二次电子和背散射电子等信号,用户可以在短时间内获得更全面的样品信息。 2.采用多通道成像技术 随着用户对成像需求的不断增长,SU7000特新增了几种探测器,还引进了相应的成像功能。SU7000最多可同时显示和保存6通道信号。实现了获得样品信息的最大化。 3.支持不同形状样品、多种观察方法 大型样品观察 低真空观察 超低温观察 实时观察 等所需的样品仓和真空系统都十分完备,观察方法也是一应俱全。 4.支持微纳解析 采用肖特基发射电子枪,最大束流可达到200 ...

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Hitachi High-Tech Europe GmbH
电子扫描显微镜
电子扫描显微镜
SU3800/3900 Family

倍率: 5 unit - 800,000 unit
空间分辨率: 15, 4, 3 nm

... 立高新推出的扫描电镜SU3800/SU3900兼具操作性和扩展性,结合众多的自动化功能,可高效发挥其高性能。SU3900标配多功能超大样品仓,可应对大型样品的观察。 ■样品台可搭载超大/超重样品 通过更换样品提示,可防止由于与样品的接触而损坏设备或样品 选配样品交换仓,可在主样品仓保持真空的状态下快速更换样品,大大提高了工作效率 具备样品台移动限制解除功能,提高了自由度* 红外CCD探测器,提高了样品台移动的安全性 ■支持全视野移动。SEM MAP支持超大样品的全视野观察 与GUI联合,可配备样品仓室导航相机 覆盖整个可观察区域 支持360度旋转 ②随着各种自动化功能的强化,操作性能得到了进一步优化。 ■一个鼠标就能够轻松操作的简约GUI ■各种自动化功能 自动调整算法经改良后,等待时间减少至以往的1/3以下(※S-3700N比例) 提高了自动聚焦精度 搭载Intelligent ...

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Hitachi High-Tech Europe GmbH
电子扫描显微镜
电子扫描显微镜
FlexSEM II

倍率: 6, 8,000,000 unit
空间分辨率: 15, 4 nm

... 宽幅仅为45 cm的紧凑型的设计,仍具备4.0 nm的图像分辨率。 全新开发的用户界面和电子光学系统让您深切体验其高性能。 特点 FlexSEM 1000 II,凭借全新设计的电子光学系统和高灵敏度检测器,可在加速电压20 kV下实现4.0 nm的分辨率。全新开发的用户界面,具有亮度和对焦自动调节功能,可以在短时间内进行各种观察。此外,还搭载了全新的导航功能“SEM MAP”,这个功能可弥补电子显微镜上难以找准视野的缺点,实现最直观的视野移动。 尽管是可放置在桌面上的小巧紧凑型*1电子显微镜,仍可实现4.0 ...

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Hitachi High-Tech Europe GmbH
SEM显微镜
SEM显微镜
TM4000PlusIII

倍率: 10 unit - 250,000 unit
长度: 617 mm

... 我们以“更高画质、更易于使用、更易于观察”为理念,开发出TM4000系列。在此基础上,我们又推出功能更为多样的TM4000Ⅱ系列。 为您提供全新的观察和分析应用。 操作简单且快捷 观察图像只需 3 分钟。 可快速观察图像,并导出测试报告。. Report Creator可让您轻松制作报告 只需选择图像和模板,就可以制作Microsoft Word、Excel、PowerPoint格式的报告 即便是绝缘物样品,也无需预处理,就可直接进行观察。 “荷电减轻模式”可抑制荷电现象 对于容易产生荷电的样品,可使用“荷电减轻模式”,在抑制荷电的状态下进行观察。 只需用鼠标在软件上点击即可切换到“荷电减轻模式”。 可在低真空的条件下进行二次电子像(表面形状)观察。 无需预处理,也可以观察绝缘物和含水、含油样品的表面 不仅是观察传统的导电性样品,还可以在无预处理的条件下观察绝缘物和含水、含油样品。可快速进行二次电子像与背散射电子像之间的切换。 高感度低真空二次电子检测器 采用高感度低真空二次电子检测器(UVD)。通过检测由于电子线与残留气体分子之间的碰撞而产生的光,可以观察带有二次电子信息的图像。此外,通过控制该检测器,来检测电子照射所产生的光,可以获得CL信息(UVD-CL:带有CL信息的图像)。 TM4000Ⅱ/TM4000Plus ...

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Hitachi High-Tech Europe GmbH
STEM显微镜
STEM显微镜
HF5000

倍率: 20 unit - 8,000,000 unit
空间分辨率: 0.08, 0.1 nm

... 通过单极片实现0.078 nm的STEM空间分辨率和高样品倾斜度、高立体角EDX。 透射电子显微镜除了延续了日立公司配备的球面像差校正器的功能、自动校正功能,像差校正后的SEM图像和对称Dual SDD技术等特点。还融汇了透射电子显微镜HF系列中所积累的技术。 对于包括高端用户在内的广泛用户,我们提供亚Å级空间分辨率和高分析性能以及更多样化的观察和分析方法。 特点 标配日立生产的照射系统球差校正器(附自动校正功能) 搭载具有高辉度、高稳定性的冷场FE电子枪 镜体和电源等的高稳定性使机体的性能大幅度提升 观察像差校正SEM/STEM图像的同时观察原子分辨率SE图像 采用侧面放入样品的新型样品台结构以及样品杆 支持高立体角EDX*的对称配置(对称Dual ...

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Hitachi High-Tech Europe GmbH
FIB/SEM显微镜
FIB/SEM显微镜
NX2000

空间分辨率: 2.8, 60, 4, 3.5 nm

... NX2000 是专为半导体应用(利用 KLARF 坐标导入进行缺陷分析、TEM 薄片提取、器件开发)而优化的 FIB-SEM。样品台的 X、Y 行程为 205 x 205 毫米,甚至可以在不旋转样品的情况下对 200 毫米晶片进行全表面处理。垂直安装的 Ga FIB 可在 30 kV 电压下提供高达 100nA 的离子电流。FE-SEM 柱配备了冷场发射器。 ...

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SEM显微镜
SEM显微镜
SU7000

倍率: 20 unit - 2,000,000 unit
空间分辨率: 0.8, 0.9 nm

... SU7000不仅可以在低加速电压下获得高画质图像,而且还可以同时接收多种信号。此外,它还具备大视野观察、In-Situ观察等FE-SEM的众多优异性能。 SU7000是一台实现了获取大量信息的新型扫描电镜,可以满足客户的多种观察需求。 接下来请欣赏SU7000带来的多彩世界。 核心理念 1.采用优异的成像技术 SU7000可以迅速获取从大视野全貌图到表面微细结构等多种检测信号。全新设计的电子光学系统和检测系统,使得装置可以同时接收二次电子和背散射电子等信号,用户可以在短时间内获得更全面的样品信息。 2.采用多通道成像技术 随着用户对成像需求的不断增长,SU7000特新增了几种探测器,还引进了相应的成像功能。SU7000最多可同时显示和保存6通道信号。实现了获得样品信息的最大化。 3.支持不同形状样品、多种观察方法 大型样品观察 低真空观察 超低温观察 实时观察 等所需的样品仓和真空系统都十分完备,观察方法也是一应俱全。 4.支持微纳解析 采用肖特基发射电子枪,最大束流可达到200 ...

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