FIB显微镜 NX9000

FIB/SEM实验室用于研究

在这一独特的系统中，Ga-FIB 柱和 FE-SEM 柱互成直角。这种配置非常适合大体积（生物组织、具有大晶粒结构的材料、半导体元件等）的三维分析应用，即使在视野非常宽的情况下也不会失真，并具有最高的分辨率。三维 EBSD 分析还可以在样品完全静止的情况下进行，即在 FIB 切割和 EBSD 层分析之间样品不会移动。