SEM 和 STEM / TEM 用户都知道这个问题:高分辨率成像通常会因观察区域碳膜的快速堆积而受到影响(如果不是完全不可能的话)。这通常是由气态碳氢化合物引起的,它们在观察过程中由于电子束的能量传递而不断沉积。这些碳氢化合物的来源可能是真空室的真空度不理想,通常可以使用高能量输入的等离子清洁器或日立准分子光源 "Sparkle "来改善真空度。
不过,在大多数情况下,观察对象和样品架本身才是主要的污染源。在这种情况下,等离子处理往往过于粗糙,会改变甚至破坏样品。日立用于 SEM 和 TEM 的 ZONE 清洁器提供了一种基于紫外线和自由氧自由基的温和、巧妙的替代方法:与等离子清洁器相比,它能快速、彻底地去除干扰碳氢化合物,并显著降低能量输入。
ZONE 产品系列中的样品清洁器配备了波长为 185nm 和 254nm 的紫外线灯,可攻击典型的碳氢化合物键、分解氧分子并生成臭氧形式的活性成分。
集成的隔膜泵可产生 13 至 67kPa 的可调适度真空。根据样品的类型,可以使用腔室压力在更多氧化性或更多物理性之间优化清洁机制。
产品特点
- 最多可容纳 5 个 TEM 样品架(可配置)
- 清洗和存储功能
- 配方记忆
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