自动样本制备系统 ArBlade 5000

用于电子显微镜检查冷却离子束铣削

最先进的宽离子束系统，用于制备适用于电子显微镜观察的超高品质横截面或平面铣削样品。 特点 横截面铣削速率：1 毫米/小时！*1 ArBlade 5000 配备了高速氩离子枪，其刻蚀速率是普通设备的两倍，性能处于行业前沿，从而大幅缩短了截面制备的处理时间。 截面宽度可达 8 毫米！ 针对电子器件应用等大面积铣削需求，我们开发了革命性的横截面铣削夹持器设计，以满足更宽面积的制备需求。 大面积横截面铣削示例 （样品：电子元件，铣削时间：5 小时） 混合型：支持双铣削配置 全新的离子铣削系统同时配备横截面铣削和平面铣削模式，可满足最复杂的应用需求。 ArBlade 5000 系统配备多种夹持器，可适应广泛的应用场景。 横截面铣削 用于在不向样品施加机械应力的情况下，制备更宽且无畸变的横截面 横截面铣削示意图 平面铣削 用于去除表面层伪影，并在传统机械抛光工艺后进行最终抛光。 冷却装置* ArBlade 5000 的低温版本可在样品处理过程中对横截面铣削台进行主动冷却。与横截面铣削台相连的集成式液氮杜瓦瓶，可有效带走离子束铣削过程中屏蔽罩和样品产生的热量。