RX2500是一款用于高压和超高压应用的隔膜式调压器。它的无弹簧设计可以保持气体的最高纯度。该调压器有两个版本:标准版和大流量版。
主要优点
100%的功能和氦气泄漏测试
哈氏合金®膜片
内部无弹簧
在无尘室中进行组装、测试和包装。ISO 4级
单独的序列号,可完全追踪
可提供抗腐蚀的内部选项。哈氏合金®阀芯
按照SEMI F19超高压等级进行电抛光的表面粗糙度
可选择316L VAR®不锈钢双熔体,符合SEMI F20标准
可提供高流量(HF)版本(Cv:1.2),最高可达1150 SLPM
作为标准选项的流体专用阀座材料
额外的多端口选项
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