医用气体减压阀 RX3000

实验室

RX3000 是一款单级自由膜片压力调节器，专门为高纯和超高纯应用而设计。其单级设计提供了出色的流量稳定性，无螺纹设计则保证了最高的纯度。 主要优点 所有型号均采用独特的无螺纹设计，纯度更高 优化的供气压力效果和出色的流量稳定性 使用寿命符合 CGA E4 标准 在洁净室中组装、测试和包装：ISO 4 级 独立序列号，可实现完全可追溯性 电抛光表面符合 SEMI F19 超高压等级标准 超高压材料 - 提供 Semi F20 选项 规格 温度范围 -20°C 至 +65°C (-4°F 至 +149°F) 调节器类型 自由隔膜 爆破压力 工作压力的 300 150% 的工作压力 经认证的最大氦气内泄漏率（最大压力下） ≤ 1 x 10-9 mbar.l/s 认证的最大氦气跨座泄漏率（最大压力下）- ≤ 1 x 10-8 mbar.l/s 经认证的最大氦气外泄漏率 ≤ 1 x 10-9 mbar.l/s