M20是一种用于高压和超高压应用的隔膜阀。它的无弹簧设计可以保持气体的最高纯净度。M20适用于15bar以下的低压。有两种驱动方式可供购买:多圈手轮或气动执行器。
主要优点
进行100%的氦气泄漏测试
有3/4 "到1 "的尺寸,支持多种连接方式
在无尘室进行组装、测试和包装。ISO 4级
独立的序列号,可完全追踪
按照SEMI F19 UHP等级进行电抛光的表面粗糙度
可选择316L VAR®不锈钢双熔体,符合SEMI F20标准
由于有可选的清洗口,因此具有出色的清洗能力
作为标准选项的流体专用阀座材料
可更换的阀座
规格
气动执行器的开启压力为5至7巴
流动能力(cv) 3.5
公称阀座直径20毫米
公称阀座直径 > 700 bar
爆破压力 ≤ 1 x 10-9 mbar.l/s
认证的最大氦气外漏率 ≤ 1 x 10-9 mbar.l/s
认证的最大氦气跨座泄漏率(在最大压力下) - ≤ 1 x 10-9 mbar.l/s
经认证的最大氦气内漏率(最大压力下) ≤ 1 x 10-9 mbar.l/s
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