医疗气体阀 M20

医疗不锈钢灰色

M20 是一种适用于高压和超高压应用的隔膜阀。其无弹簧设计可保持气体的最高纯度。M20 适用于 15 巴以下的低压。有两种执行机构可供选择：多圈手轮或气动执行机构。 主要优点 100% 通过氦气泄漏测试 提供 3/4" 至 1" 尺寸，支持多种连接方式 在洁净室中进行组装、测试和包装：ISO 4 级 独立序列号，可完全追踪 电抛光表面粗糙度符合 SEMI F19 超高压等级标准 通过可选的吹扫口实现出色的吹扫性能 流体专用阀座材料作为标准选项 可更换阀座 超高压材料 - 可提供 Semi F20 选件 规格 最大工作压力 见上表 气动执行器开启压力 5 至 7 巴 温度范围 见上表 流量 (cv) 3.5 阀座公称直径 20 毫米（0.79 英寸） 爆破压力 >700 bar (10152 psig) 经过认证的阀座最大氦气泄漏率（最大压力下） ≤ 1 x 10-9 mbar.l/s 认证的最大氦气内泄漏率（最大压力） ≤ 1 x 10-9 mbar.l/s 经认证的最大氦气外泄漏率 ≤ 1 x 10-9 mbar.l/s