激光粒子计数器 Chem 20™
工艺流程在线

激光粒子计数器 - Chem 20™ - Particle Measuring Systems - 工艺流程 / 在线
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产品规格型号

所用技术
激光
应用
工艺流程
其他特性
在线

产品介绍

世界上首款20nm化学品粒子计数器,尖端的微电子工艺需要非常洁净的工艺化学品,该粒子计数器需要经过高度过滤,适用于≤20nm的粒子。Chem 20化学品粒子计数器具有20 nm的粒子灵敏度,是目前灵敏度最高的高纯度工艺化学品粒子传感器,也是PMS全系列液体粒子计数器的新产品。 来自化学品输送和包装系统的广泛数据证明,与其竞争产品相比,具有20nm灵敏度的Chem 20传感器统计出的颗粒浓度较大,数据具有统计意义。 Chem 20化学颗粒计数器是非常有用的工具,在化学颗粒源影响工艺和设备性能之前,便能够快速检测化学颗粒源。 Chem 20是来自美国粒子监测系统公司的 “行业领先灵敏度 “产品之一。这意味着在市面上很难找到比这款更灵敏的产品,而只有PMS能提供多种产品系列以满足不同的监测需求。目前,在超纯水、化学品和空气分子污染物监测方面,PMS产品均表现出市场领先的监测性能、灵敏度和可靠性。PMS以卓越知识、技术和服务,为高科技企业和化学制造公司提供最先进的工具,使其能够基于数据做出精准决策,提高业绩和产量。 了解更多PMS全系列粒子计数器。 产品细节 带新增离线采样功能的20nm化学品粒子计数器 先进的激光光学和检测器使检测化学物质的灵敏度达到20 nm 自带化学流量计用于设定样品流量 针对不同折射率的化学品进行监测,以提高数据可靠性: Chem 20:适用于折射率较低的化学品 内部泄漏监测:在内部化学品泄漏时提供报警 低流量监测器和报警器,以确保数据一致 宏观气泡探测器用于保护传感器性能 本地数据显示 实时监测20 nm PSL和9 nm Au微粒 监测影响良率的粒子(竞争技术无法达到) 在扫描表面或得到数据之前,快速响应粒子偏移 优化化学品输送系统,覆盖从装卸码头到加工节点的整个过程 改善样本的数据统计,加强过程工艺控制 针对不同洁净度的产品,使用两种视图模式优化仪器操作,拓展产品应用空间 传统数据采集系统能够灵活通信 便捷的在线和离线20nm监测 化学输送系统内的实时粒子监测 流程监控点 化学包装操作监控 化学过滤器性能和效率描述 化学处理部件的性能测试 化学品质量验证

PDF产品目录

* 显示价格为参考价,此价格不含税、不含运费、不含关税,也不包含因安装或投入使用所产生的其他额外费用。参考价格可能因国家、原材料价格和汇率的不同而产生变化。