Ultra DI® 计数器可为半导体级超纯水系统、过滤性能验证和高级污染监测提供无与伦比的精度。有助于及早发现限制产量的污染事件。
产品详细信息
专为最苛刻的超纯水应用而设计
以更快的速度实现最佳工艺控制,提高产品产量。超 DI 水颗粒计数器系列具有突破性的功能,为 UPW 监控应用设定了标准。
无与伦比的精度和高灵敏度
检测小至 20 纳米的颗粒,实现可靠的过程监控。
快速检测趋势变化,识别并帮助解决污染事件。
零点计数低
低零点计数和高计数效率确保了每次测量的可靠性。
环境稳定性
在洁净室和多变的工艺条件下保持精度和可靠性,包括
热
湿度
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