激光粒子计数器 HPGP™ 101-C

工艺流程

高技术生产工艺通常要求高纯度气体。HPGP-101-C高压气体探头为在线压力下的工艺气体提供可靠的在线污染监测。HPGP-101-C高压气体探头和氧气、氢气以及大多数无害气体相匹配，它可以应用于多种活性气体监测。HPGP-101-C高压气体探头会在影响产量之前，加快工艺气体分配系统的资格确认，监测气体中的粒子。 HPGP与粒子数据系统、以太网(PDS-E)配对，收集并报告由探测器捕获的数据。 产品细节 安全保护壳 氧气与氢气兼容性 0.1SCFM下，灵敏度为0.1μm 8个粒子通道 管道压力从40到150psig 被动式激光源 并行处理阵列检测器系统 核实粒子质量 检测工艺异常 量化系统更改的影响 提供精确粒径 使用 Facility Net软件来进行全面的数据存储、管理、报告和警报 被动式激光源设计只需极少的维护 净化的惰性气体确保安全 样本气体一旦泄漏，容器立刻终止电源 气体分布系统的资格确认 工艺气体监测 活性气体监测