2821 MSP Turbo™ 汽化器是我们液体流速最高的设备。该型号的加热器功率为 2400W,流速最高可达 6000g/hr(TEOS 或同等物质)。
产品详细信息
尺寸
417 毫米 x 140 毫米 x 183 毫米(16.4 英寸 x 5.5 英寸 x 7.2 英寸)
接头(在设备上) -
载气入口 - 1/4 英寸VCR 内螺纹剖分式螺母
液体入口 - 1/4 英寸VCR 内螺纹
蒸汽出口 - 1/2 英寸VCR 内螺纹
压缩空气 - 4 毫米瞬时管接头
润湿部件 - SS 316、FFKM、PTFE、镍
泄漏完整性 - <1 x 10-9 Pa-m3/s (He)
加热器功率要求 - 220 VAC,60 Hz,2400W
载气 - 建议使用惰性气体
最大载气流量1 - 80 psig 时 30 标准升/分钟 N2
20 标准升/分钟 N2,50 psig
最大液体流量2液体流量2 - 6,000 克/小时(相当于 TEOS(相当于 TEOS)
600 克/小时(H2O 或同等物质)
系统压力极限 - 150 psig
压缩空气 - 90 至 110 psi
温度范围 - 40°C 至 200°C
蒸发器本体 - 带有多级热交换器的真空密封腔体,SS 316 结构
温度传感器 - 2 个 K 型热电偶
规格如有变更,恕不另行通知
1 最大载气流速可调;如需更多信息,请访问 www.tsi.com/contact。
2 最大液体流速取决于工艺。该规格假定汽化器温度为 180° C 或更高,N2 载气流量 ≥20 SLPM,汽化器下游压力 <10 Torr。
---