实验室蒸发器 Turbo II 2852PE

MSP 的 Turbo II™ 汽化器 2852PE 专为需要中低汽流量的高精度微电子应用而设计。新型 2852PE 以经过现场验证、高度可靠和低维护的 MSP Turbo™ 汽化器为基础，在保持极小占地面积的同时提供稳定的蒸汽浓度。2852PE 还配有一个板载流量控制阀，可实现极快的流量响应。 产品详细信息 尺寸（高 x 宽 x 深）- 198 毫米 x 84 毫米 x 114 毫米（7.8 英寸 x 3.3 英寸 x 4.5 英寸） 重量 - 2.5 千克（5.6 磅） 接头（在设备上） - 载气入口 - 1/4 英寸VCR 内螺纹分体螺母 液体入口 - 1/8 英寸VCR 内螺纹 蒸汽出口 - 1/4 英寸VCR 内螺纹剖分式螺母 压缩空气 - 4 毫米瞬时管接头 润湿部件 - SS 316、PEEK、Elgiloy®、镍 泄漏完整性 - ≤ 1x 10-8 Pa-m3/s 氦气 加热器功率要求1 - 208 VAC，60 Hz，450 W 载气 - 建议使用惰性气体 最大载气流量1 - 2.0 标准升/分钟 N2 @ 50 psig 最大液体流量2 - 7 克/分钟（TEOS 或同等物质） 系统压力极限 - 150 psig 压缩空气 - 90 至 110 psig 温度范围3 - 40°C 至 180°C 温度传感器 - 2 个Ƙ型热电偶 附件 - 包括电源电缆（3 米）。AMP CPC，4 针连接器，另一端有 3 根飞线 规格如有变更，恕不另行通知。 1 最大载流量、加热器功率 (W) 和线电压可在工厂调整，请访问 www.tsi.com/contact 以获取更多信息。 2 最大液体流量取决于工艺。规格假定汽化器温度为 180°C，最大载气流量和汽化器下游压力 <50 Torr。 3 需要适当的通风。