SEM显微镜 SU9000 IITEMSTEM低温电子
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产品规格型号
- 类型
- SEM, TEM, STEM, 扫描电子场发射, 低温电子
- 应用
- 用于研究
- 观测技术
- BF-STEM, DF-STEM
- 配置
- 落地式
- 电子源
- 冷场发射
- 选项和配件
- 高解析度
- 倍率
3,000,000 unit
- 空间分辨率
0.4 nm, 0.8 nm, 1.2 nm
产品介绍
专门为电子束敏感样品和需最大300万倍稳定观察的先进半导体器件，高分辨成像所设计。
特点
新的电子枪和电子光学设计提高了低加速电压性能。
0.4 nm / 30 kV (SE)
1.0 nm / 1 kV (SE)
0.34 nm / 30 kV (STEM)
用改良的高真空性能和优异的电子束稳定性来实现高效率截面观察。
采用全新设计的Super E x B能量过滤技术，高效，灵活地收集SE / BSE/ STEM信号。
具有电子光学系统自动调整功能。
