生产设备 Tetra 2800-LF-PC 具有 2800 升的腔室容积,并配有 PC 控制系统,可用于批量生产(清洗、蚀刻和活化)。
分析
考古
汽车
研究和开发部门
半导体技术
小批量生产
塑料技术
医疗技术
微系统技术
传感技术
灭菌
纺织技术
开关柜
集成:宽 600 mm、高 1700 mm、深 800 mm
真空腔室
∅ 1200 mm,深 2500 mm
腔室容积
约 2800 升
气体供给
通过 MFC 控制的 3 个气体通道
发生器
可提供所有常用的等离子频率
控制系统
配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)