等离子表面清洁系统 Tetra 45

半自动医疗

Tetra 45 等离子系统可以组合成不同的派生型，例如组合成模块系统。下面是能够与 Tetra 45 等离子系统组合使用的最常见选装件的概览。 腔室具有以下尺寸：125 mm 高和 572 mm 宽特别适合面积较大的工件。凭借采用铝制挤压型材制成的腔室，可以灵活设计长度。 分析 (REM, TEM) 考古 汽车 生物技术 弹性体技术 电子技术 电子显微镜 精密工程 研究和开发 半导体技术 小批量生产 塑料技术 医疗技术 微系统技术 太阳能电池技术 纺织技术 型号 1，标准设备 基本设备类型 A 中的旋转开关控制系统 真空腔室，矩形，铝，带铰链的门， （宽 572 mm x 深 650 mm x 高 125 mm） 气体供给： 针型阀 型号 2，标准设备 基本设备类型 A 中的 BASIC PC 控制系统 真空腔室，矩形，铝，带铰链的门， （宽 572 mm x 深 650 mm x 高 125 mm） 气体供给： MFC 型号 3，标准设备 基本设备类型 A 中的 FULL PC 控制系统 (Windows 10 IoT) （宽 850 mm x 深 800 mm x 高 1700 mm） 真空腔室，矩形，铝，带铰链的门， （宽 572 mm x 深 650 mm x 高 125 mm） 气体供给： MFC 型号 4，腐蚀性气体设备（例如：用于含氟的工艺气体） 基本设备类型 A 中的旋转开关控制系统 （宽 850 mm x 深 800 mm x 高 1700 mm） 真空腔室，矩形，铝，带铰链的门， （宽 572 mm x 深 650 mm x 高 125 mm） 气体供给： 针型阀