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微阵列扫描仪 SpinScan

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产品介绍

多晶片讀取 - 一次讀取六片晶片。 快速掃描 <4 分鐘/晶片 @10 um 解析度。 獨特晶片載盤,有效減少臭氧與晶片反應。 ISO 13485/GMP 認證製造 雷射掃描激發螢光讀取。 靈敏度 <0.2 (螢光子/µm^2) 解析度 2-40 µm 延伸動態範圍(XDR):擴展到 10^6

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