微阵列扫描仪 Wafer

全晶圓掃描——高通量平台 全晶圓影像擷取 影像解析度：20000 x 20000 (~1.6GB), 10um/pixel 影像格式：TIFF 全晶圓影像分析 自動對齊與分析 解析度：2, 5, 10, 40 μm 雷射激發波長：532 nm 和 635 nm 雷射功率： 532 nm：13+/-10% mW 635 nm：13+/-10% mW 熒光染料: Cy3 和 Cy5 晶圓尺寸：4”~12” Si/Glass 晶圓 掃描區域：整個晶圓 容量：1 個晶圓/次 感測器：2 個光電倍增管 (PMT) 掃描速度：21 分鐘 @10 μm/pixel (8"晶圓) 靈敏度：<0.2 螢光子/μm² 動態範圍：10⁴ 訊號格式：TIFF 操作軟體（BioScan control & BioImage Analyzer）