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倍率: 3,000,000 unit
空间分辨率: 0.4 nm
专门为电子束敏感样品和需最大300万倍稳定观察的先进半导体器件，高分辨成像所设计。 特点 新的电子枪和电子光学设计提高了低加速电压性能。 用改良的高真空性能和优异的电子束稳定性来实现高效率截面观察。 采用全新设计的Super E x B能量过滤技术，高效，灵活地收集SE / BSE/ STEM信号。
Hitachi High-Technologies
倍率: 20 unit - 2,000,000 unit
随着快速数据采集和数据处理技术的发展，电子显微镜进入了一个不仅重视数据质量，而且注重其采集过程的时代。SU8700作为一款面向新时代的SEM，在日立电镜贯有的高图像质量和高稳定性的基础上，增加了包括自动获取数据等高通量的功能。 超高分辨观察和超强分析能力 日立的高亮度肖特基场发射电子枪可同时支持超高分辨观察和快速微束分析。在不使用样品台减速的情况下，仅用0.1 ...
Hitachi High-Technologies
倍率: 20 unit - 2,000,000 unit
随着快速数据采集和数据处理技术的发展，电子显微镜进入了一个不仅重视数据质量，而且重视其采集过程的时代。SU8600系列秉承了Regulus8200系列的高质量图像、大束流分析及长时间稳定运行的冷场成像技术，同时还大大提升了高通量、自动数据获取能力。 高衬度的低加速电压背散射图像 3D NAND截面观察; 在低加速电压条件下，背散射电子信号能够明显的显示出氧化硅层和氮化硅层的衬度差别。 快速BSE图像：新型闪烁体背散射电子探测器(OCD)* 由于使用了新型的OCD探测器，即使扫描时间不到1秒，也仍然可以观察到 ...
Hitachi High-Technologies
倍率: 20 unit - 2,000,000 unit
... 它还具备大视野观察、In-Situ观察等FE-SEM的众多优异性能。 SU7000是一台实现了获取大量信息的新型扫描电镜，可以满足客户的多种观察需求。 接下来请欣赏SU7000带来的多彩世界。 核心理念 1.采用优异的成像技术 SU7000可以迅速获取从大视野全貌图到表面微细结构等多种检测信号。全新设计的电子光学系统和检测系统，使得装置可以同时接收二次电子和背散射电子等信号，用户可以在短时间内获得更全面的样品信息。 2.采用多通道成像技术 随着用户对成像需求的不断增长 ...
Hitachi High-Technologies
倍率: 5 unit - 800,000 unit
... SEM MAP支持超大样品的全视野观察 与GUI联合，可配备样品仓室导航相机 覆盖整个可观察区域 支持360度旋转 ②随着各种自动化功能的强化，操作性能得到了进一步优化。 ■一个鼠标就能够轻松操作的简约GUI ■各种自动化功能 自动调整算法经改良后，等待时间减少至以往的1/3以下(※S-3700N比例) 提高了自动聚焦精度 搭载Intelligent ...
Hitachi High-Technologies
倍率: 60,000, 50,000, 1,000, 5,000 unit
空间分辨率: 5, 4 nm
... nm的图像分辨率。 全新开发的用户界面和电子光学系统让您深切体验其高性能。 特点 FlexSEM 1000 II，凭借全新设计的电子光学系统和高灵敏度检测器，可在加速电压20 kV下实现4.0 nm的分辨率。全新开发的用户界面，具有亮度和对焦自动调节功能，可以在短时间内进行各种观察。此外，还搭载了全新的导航功能“SEM MAP”，这个功能可弥补电子显微镜上难以找准视野的缺点，实现最直观的视野移动。 尽管是可放置在桌面上的小巧紧凑型*1电子显微镜，仍可实现4.0 ...
Hitachi High-Technologies
倍率: 10 unit - 250,000 unit
重量: 54 kg
宽度: 330 mm
... 荷电减轻模式”。 可在低真空的条件下进行二次电子像（表面形状）观察。 无需预处理，也可以观察绝缘物和含水、含油样品的表面 不仅是观察传统的导电性样品，还可以在无预处理的条件下观察绝缘物和含水、含油样品。可快速进行二次电子像与背散射电子像之间的切换。 高感度低真空二次电子检测器 采用高感度低真空二次电子检测器(UVD)。通过检测由于电子线与残留气体分子之间的碰撞而产生的光，可以观察带有二次电子信息的图像。此外，通过控制该检测器，来检测电子照射所产生的光，可以获得CL信息（UVD- ...
Hitachi High-Technologies
空间分辨率: 4, 60, 0.7, 50, 1.5 nm
“Ethos”采用日立高新的核心技术--高亮度冷场发射电子枪及新研发的电磁复合透镜，不但可以在低加速电压下实现高分辨观察，还可以在FIB加工时实现实时观察。 SEM镜筒内标配3个探测器，可同时观察到二次电子信号的形貌像以及背散射电子信号的成分衬度像；可非常方便的帮助FIB找寻到纳米尺度的目标物，对其观察以及加工分析。 另外，全新设计的超大样品仓设置了多个附件接口，可安装EDS*1和EBSD*2等各种分析仪器。而且NX5000标配超大防振样品台，可全面加工并观察最大直径为150mm的样品 ...
Hitachi High-Technologies
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