在半导体制造过程中,即使是最微量的污染也会影响产品质量。随着半导体微型化的不断发展,最大限度地减少痕量有机污染对于保持高产品良率变得越来越重要。因此,半导体制造中使用的超纯水的质量标准变得更加严格。特别是在尖端半导体的制造过程中,检测尿素和其他难氧化化合物的需求日益增加。使用传统技术很难检测到这些化合物。TOC-1000e S 超纯水在线 TOC 分析仪结合了尖端半导体制造商的反馈意见,就是为了应对这些挑战而开发的。
50 多年来,岛津一直是值得信赖的 TOC 分析仪供应商,奠定了其在 TOC 仪器领域的领先地位。现在,岛津利用数十年的专业知识和先进技术,推出了 TOC-1000e S 超纯水在线 TOC 分析仪,专门用于满足现代半导体制造工艺的严格要求。
特点
对难氧化化合物的检测灵敏度极高
高氧化能力,可准确检测尿素和其他难氧化化合物
在半导体制造过程中,需要从各种水源中生产大量超纯水。在这一净化过程中,必须尽可能地去除杂质。由于尿素具有难氧化的特性,因此去除尿素尤其具有挑战性。
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