产品描述D385S 采用气动执行机构,设计用于维持气体的最高纯度。其系固隔膜(tied diaphragm)技术可将颗粒产生降至最低,降低污染风险。D385S 适用于电子与半导体行业常见的超高纯度(UHP)、腐蚀性、反应性及有毒气体。
主要优点- 减小死腔和气体湿润体积,便于高效置换(purging)
- 气动驱动使气体不接触阀门机构,防止卡死
- 备份焊接隔膜提供永久性气密密封
- 爆破片材料:镍、AISI 316L
规格气体类型:腐蚀性、反应性及有毒的超高纯度气体
连接:符合(国)际标准及客户规格
流量:CV = 0.35
工作压力:200 bar
阀体材料:不锈钢 1.4435 (AISI 316L)、Hastelloy® C22、镍 200、Monel® 2.4375 (Monel 500 K)
温度范围:-40 至 +65 °C
泄漏率:1·10^-8 mbar·L/s
阀座孔径:4 mm
标识:π0029(依据 TPED)、3 星、阀门编号、制造日期
技术参数- 型号:D385S
- 适用气体:腐蚀性、反应性及有毒的超高纯度气体
- 流量系数 (CV):0.35
- 最大工作压力:200 bar
- 阀体材料:AISI 316L (1.4435)、Hastelloy C22、镍 200、Monel 2.4375
- 温度范围:-40 至 +65 °C
- 泄漏率:1·10^-8 mbar·L/s
- 阀座孔径:4 mm
- 爆破片材料:镍、AISI 316L
- 标识:π0029(TPED)、3 星、阀门编号和制造日期