气体调压阀 RX2200

氦气实验室医用

RX2200是一款用于高压和超高压应用的隔膜式调压器。它的无弹簧和无螺纹设计可以保持气体的最高纯度。 主要优点 进行了100%的功能和氦气泄漏测试 哈氏合金®膜片 内部有弹簧和无螺纹，满足最高的超高压要求 在洁净室中组装、测试和包装。ISO 4级 单独的序列号，可完全追踪 可提供耐腐蚀的内部选项。哈氏合金®阀芯 根据SEMI F19 UHP等级进行电抛光的表面粗糙度 可提供湿润区域的涂层选择 可提供316L VAR®不锈钢双熔体，符合SEMI F20标准的选项 流体特定的阀座材料作为标准选项 额外的多端口选项 规格 最大进口压力240巴 出口压力3/8/10/15/25/50巴 温度范围 -20°C至+65°C 流动能力（cv） 0.2 爆破压力* - 300%的工作压力 证明压力* - 工作压力的150 供应压力影响i* 1.35巴/100巴 认证的最大氦气外漏率≤1 x 10-9 mbar.l/s 认证的最大氦气跨座泄漏率（最大压力下） - ≤ 1 x 10-7 mbar.l/s 经认证的最大氦气内漏率（最大压力下） ≤ 1 x 10-9 mbar.l/s