测量范围 [SCCM]
定制
精度 [±% FS] 最大值。
定制
湿度范围
0...100% RH, 耐水凝结供
应商
Pewatron
输出信号
定制
供应电压 [VDC]
定制
润湿材料
碳化硅, 环氧树脂, PPS, FR4, 硅胶作为静态密封
产品描述
流程
传感器元件基于热原理
定制封装提供
特点
MEMS 热电堆和加热器
优异的湿部件兼容性
无偏移和漂移
压力,>15 bar
简单信号调理
应用
医疗呼吸器和呼吸器
HVAC过程控制
说明
SFD 流量传感芯片由两个对称定位的热电堆组成,这两个热电堆来自加热热结
点的加热器元件。 热电堆产生的输出电压与其热和冷结点之间的温度梯度成正比(Seebeck 效应)。 热电堆和加热器的热连接点位于隔热基座上。 如果介质是静态的,加热器的上游和下游的温度分布是
对称的;如果介质流动,由于流动介质的热传递,温度剖面向流动方向倾斜,导致热电堆
输出发生变化。 热传输是成比例的质量流量和介质的热容量。 因此,传感器测量介质 A 基准电阻的质量流量,位于上游热电堆的冷交点旁边,以提供用于温度补偿的输入。
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