应用主要特点- 石化。离子束刻蚀全息光栅,3600 L/mm或2400 L/mm。
规格RF功率技术参数:
电路类型: 固态RF电源,具有自动匹配功能
频率: 27.12 MHz ± 0.05%
频率稳定性: < 0.1 %
输出功率: 800 W - 1200 W
输出功率稳定性: < 0.3 %
逃逸RF辐射: 距仪器30 cm处,电场: E < 2V/m
采样系统技术参数:
输出工作线圈内径: 25 mm
扭矩管: 三个同心,外径20 mm
同轴雾化器: 外径6 mm
双桶雾化室: 外径34 mm
气体流量控制:
等离子体氩气流量计: (100-1000) L/h (1.6-16 L/min)
辅助氩气流量计: (10-100) L/h (0.16-1.66 L/min)
载气氩气流量计: (10-100) L/h (0.16-1.66 L/min)
压力保持阀: 0 - 0.4 MPa
冷却水: 温度: 20-25 °C, 流量 >5 L/min, 水压 >0.1 Mpa
光谱仪:
光学: Czerny-Turner型
焦距: 1000 mm
光栅: 离子束刻蚀全息光栅,3600 L/mm或2400 L/mm
倒数线性分散: 0.26 nm/mm
分辨率: ≤ 0.007 nm (3600线光栅); ≤ 0.015 nm (2400线光栅)
波长范围: 3600线光栅: (190 nm ~ 500) nm; 2400线光栅: (190 nm ~ 800) nm
步进电机的最小步距: ≤ 0.0006 nm
出口狭缝: 12 µm
入口狭缝: 10 µm
光电转换器性能:
光电倍增管规格: R293/R928
PMT上的负高压: 0 - 1000 V
稳定性: < 0.05 %
技术特征 / 规格- 型号: SPE51-1200
- 具有自动匹配功能的固态RF电源
- 频率: 27.12 MHz ± 0.05%
- 输出功率: 800 W - 1200 W
- 光学: Czerny-Turner型
- 光栅: 离子束刻蚀全息光栅,3600 L/mm或2400 L/mm
- 分辨率: ≤ 0.007 nm (3600线光栅); ≤ 0.015 nm (2400线光栅)
- 波长范围: 190 nm ~ 500 nm (3600线光栅); 190 nm ~ 800 nm (2400线光栅)
- 光电倍增管: R293/R928