它是一台高规格的欧杰电子能谱仪,配有半球形分析器,可对纳米到微米区域的化学键状态进行高通量分析,还配有场发射电子枪,也可用于 EPMA,因为它可以提供大而稳定的电流。 高精度微心试样台使得以前无法进行的绝缘体分析成为可能。它与浮动式离子枪相结合,可以处理金属和绝缘材料等任何试样,从而获得成分信息和化学信息。
特点
新开发的光谱成像方法可以捕捉图像中每个像素的电子能谱。获取数据后,可提取图像中选定区域的光谱和元素分布,就像 EDS 制图一样。光谱成像法通过获取宽能量范围内的数据来防止遗漏任何元素,这与传统的奥杰绘图法完全不同,后者需要事先指定要绘图的元素。测量能量范围和能量分辨率都是可选的,也可以进行通常的宽光谱采集。光谱成像不仅可用于元素分析,还可用于反射电子能量损失光谱(REELS)分析。
标准光谱数据库包含 140 种材料的 500 多条光谱。我们的峰值解卷积软件可轻松分离重叠的奥杰峰,还可一键进行复杂的化学状态分析。
规格
电子照明系统
SEI 分辨率 - 3 纳米(25 千伏、10 毫安时)
用于欧杰分析的探针直径 - 8nm(25kV,1nA)
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