光学光谱仪 SXES

X射线CCD台式

软 X 射线发射光谱仪（SXES）是一种超高分辨率光谱仪，由新开发的衍射光栅和高灵敏度 X 射线 CCD 相机组成。 与 EDS 一样，它可以进行平行探测，并能进行 0.3 eV（费米边，Al-L 标准）的超高能量分辨率分析，超过了 WDS 的能量分辨率。 系统概要 新开发的光谱仪光学系统设计可同时测量不同能量的光谱，而无需移动衍射光栅或探测器（CCD）。利用高能量分辨率，可进行化学态分析绘图。 SXES、WDS 和 EDS 的比较 使用各种光谱分析方法测量氮化钛的光谱 对于氮化钛，N-Kα 和 Ti-Ll 的峰值是重叠的。即使使用 WDS，也需要使用数学方法进行波形解旋。如下图所示，SXES 具有很高的能量分辨率，可以观测到 TiLl。 锂离子电池 (LIB) 分析示例 下图示例显示了具有不同电荷状态的锂离子电池样品的大面积地图。SXES 可以绘制价带态（左）和基态（中）的锂-K 峰图。通过碳分布图（右图）还可以看到完全放电的锂离子电池上的功能。 光元素测量示例 使用 SXES 测量碳化合物 可以测量金刚石、石墨和聚合物之间的差异。可以通过 π 和 σ 键的附加峰观察到差异。由于映射从每个像素获取光谱，因此可以生成峰值偏移 1 eV 和肩峰的附加映射。