光谱分析椭率计 Smart SE

Smart SE 是一款通用型薄膜测量工具。测试速度快，准确。它可以表征几埃到20µm薄膜厚度、光学常数（n, k）以及薄膜结构特性（如粗糙度、光学梯度及各向异性等）。 Smart SE利用 DeltaPsi2 软件平台在几分钟内对450-1000nm的光谱数据进行采集、建模分析。自动化双软件操作平台，从简化的工作流程到高端研发，满足不同层次和需求的客户。 Smart SE是一款性价比极高的薄膜研发工具，以经济实惠的价格提供了研究级的性能。标配一套完整样品可视化系统，准确定位分析位置及区域，7个不同尺寸的微光斑可用于微区特征分析。几秒钟即可获得完整的16位穆勒矩阵，用于复杂样本的研究。 Smart SE配置灵活、具备多角度测量能力，可方便实现在线与离线配置切换。是一款针对单层和多层薄膜进行简单、快速、准确表征和分析的工具, 可用于在线原为测试。Smart Se可以满足各类应用领域，包括微电子，光伏，显示，光学涂料，表面处理和有机化合物等。 快速、准确 易于升级 光斑可视化