FIB/SEM显微镜 NX2000

实验室用于研究检查

在高科技设备及高性能纳米材料的评价和分析领域，FIB-SEM已成为不可或缺的工具。 近来，目标观察物更趋微细化；更薄，更低损伤样品的制备需求更进一步凸显。 日立高新公司，整合了高性能FIB技术和高分辨SEM技术，再加上加工方向控制技术以及Triple Beam®*1（选配）技术，推出了新一代产品NX2000 加工方向控制技术（Micro-sampling®*3系统（选配）+高精度/高速样品台*）对于抑制窗帘效应的产生，以及制作厚度均一的薄膜类样品给予厚望。 探测器 標準検出器 - In-lens 二次电子探测器/样品室二次电子探测器/背散射电子探测器 样品台 - X：0 ～ 205 mm Y：0 ～ 205 mm Z：0 ～ 10 mm R：0 ～ 360°连续 T：-5 ～ 60°