这台电子显微镜是第一台高级台式扫描电镜,结合了5轴全电动平台和一个大的腔室,可以容纳大的样品。高电压可在1至30千伏之间调节(6级)。
- 兼容Window 10
- 5轴完全电动化
- 倾斜度从-45到+90度,可以完美观察样品。
- 允许用成对的SE立体图像或从4个BSE图像进行三维重建
- 可为EBSD提供70度的倾斜(选择)。
- 最大样品尺寸:直径80mm,厚度40mm
易于使用的图形界面
带有平台导航器的CCD相机
附在SEM上的CCD相机可以捕捉到样品架和样品的图像。
该图像会自动加载到SEM软件中。
要在样品上移动,只需点击图片,平台就会移动。
标准规格
高达5120*3560像素的图像
光束分辨率5纳米(SE)
4个可变孔径和连续可变光斑尺寸
高真空和低真空模式
SE和BSE检测器
双重模式
1至30千伏(6步5千伏)
自动调整
舞台导航仪5轴
2种模式:高真空和低真空
2个电子检测器:SE和BSE(4个二极管)
来自BRUKER Nano的集成EDS
SH-5500P可用于EDS(BRUKER的ESPRIT 2.1)和EBSD分析。
有两种型号的EDS可供选择:
QUANTAX 100
集成硅漂移检测器(SDD),不含氮气
检测范围从硼到铀,129ev分辨率10和30mm²
定性和定量的分析软件
QUANTAX 100高级版
多点和区域光谱采集
线路轮廓
X射线制图和光谱成像
用于特殊工具的多功能室
可选功能
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